Kính hiển vi điện tử quét TESCAN MIRA là thiết bị FE-SEM có độ phân giải cao phục vụ nghiên cứu, phân tích và kiểm soát chất lượng vật liệu ở thang sub-micron
TESCAN MIRA là Kính hiển vi điện tử quét (SEM) thế hệ thứ 4 của hãng TESCAN, sử dụng nguồn phát xạ điện tử Schottky, kết hợp khả năng chụp ảnh SEM và phân tích thành phần nguyên tố trực tiếp trong một cửa sổ phần mềm TESCAN Essence™. Sự kết hợp này giúp đơn giản hóa việc thu thập cả dữ liệu hình thái và dữ liệu nguyên tố trên cùng một mẫu, giúp TESCAN MIRA trở thành một giải pháp phân tích hiệu quả để kiểm tra vật liệu, dùng trong kiểm soát chất lượng, phân tích lỗi và nghiên cứu trong phòng thí nghiệm.
Đặc điểm nổi bật
-
Nền tảng phân tích được tích hợp đầy đủ và hiệu quả với TESCAN Essence™ EDS, cho phép thu ảnh SEM và kết quả phân tích thành phần nguyên tố trong cùng một cửa sổ phần mềm Essence™ duy nhất.
-
Tối ưu các điều kiện phân tích và thu ảnh ngay lập tức nhờ thiết kế quang học không khẩu độ độc đáo của TESCAN, được hỗ trợ bởi công nghệ In-flight Beam Tracing™.
-
Điều hướng SEM dễ dàng và chính xác nhờ thiết kế Wide Field Optics™, giúp quan sát ở độ phóng đại 2× mà không cần thêm camera điều hướng quang học hỗ trợ điều chỉnh vị trí mẫu.
-
Chế độ SingleVac™ là một tính năng tiêu chuẩn để quan sát các mẫu dễ tích điện bề mặt và nhạy với chùm điện tử.
-
Phần mềm Essence™ được thiết kế trực quan, dễ sử dụng giúp tăng trải nghiệm cho mọi cấp độ người dùng.
-
Khi sàn mẫu và mẫu chuyển động, sự an toàn tuyệt đối của các đầu dò gắn bên trong buồng được đảm bảo với mô hình Essence™ 3D Collision.
-
Các đầu dò SE và BSE trong cột có thể được lựa chọn thêm, kết hợp với Công nghệ giảm tốc chùm tia (BDT) để tăng cường hiệu suất thu ảnh ở điện áp gia tốc thấp.
-
Nền tảng phân tích cho phép lựa chọn bổ sung và tích hợp dễ dàng các đầu dò như CL, BSE làm mát bằng nước hoặc quang phổ RAMAN.
Hình ảnh ứng dụng của TESCAN MIRA
