Kính hiển vi điện tử quét TESCAN VEGA Compact là loại SEM cơ bản, phục vụ việc nghiên cứu các đặc tính và kiểm soát chất lượng vật liệu ở thang micromet
SEM cơ bản được chứng minh là không thiếu đi chức năng cũng như ảnh hưởng đến kết quả phân tích. TESCAN VEGA Compact cung cấp giải pháp "SEM phân tích" hoàn chỉnh cho các phòng thí nghiệm ưu tiên các tiêu chí vận hành dễ dàng, thu ảnh SEM chất lượng cao nhanh chóng và tích hợp được chức năng phân tích thành thành phần nguyên tố thông qua đầu dò phổ tán xạ năng lượng tia X (EDS).
TESCAN VEGA Compact có cấu hình đơn giản, bao gồm các thành phần quan trọng nhất để thu thập dữ liệu hình thái và nguyên tố một cách hiệu quả, cho nên TESCAN VEGA Compact chỉ cần một không gian nhỏ trong phòng thí nghiệm. Với khả năng chứa các mẫu có kích thước lớn phổ biến trong ngành công nghiệp, khoa học vật liệu, điện tử bán dẫn — như nghiên cứu mặt cắt ngang của mẫu kim loại, vi cấu trúc mối hàn hoặc bảng mạch – TESCAN VEGA Compact chính là lựa chọn tuyệt vời không chỉ để phục vụ nhu cầu kiểm tra chất lượng, kiểm soát và phân tích lỗi của vật liệu ở hiện tại, mà còn đáp ứng cả nhu cầu phân tích của bạn trong tương lai.
TESCAN VEGA Compact hoạt động thông qua một phần mềm được thiết kế dạng giao diện đồ họa, thân thiện, linh hoạt tùy chỉnh cá nhân - TESCAN Essence™, là trái tim của tất cả các thiết bị SEM và FIB-SEM của TESCAN. Người vận hành được học trên TESCAN VEGA Compact có thể dễ dàng chuyển sang vận hành các kính hiển vi TESCAN khác.
Đặc điểm nổi bật
-
Xử lý mẫu nhanh hơn với kích cỡ buồng lớn, buồng cung cấp không gian để phân tích nhiều mẫu hoặc mẫu lớn, cũng như chân không cao thực sự cho kết quả EDS đáng tin cậy hơn.
-
Dễ dàng thu thập dữ liệu thành phần và đồng bộ ảnh SEM bằng chức năng lựa chọn thêm Overlay của TESCAN, được tích hợp đầy đủ trên Essence™ EDS.
-
Thiết lập nhanh chóng các thông số của chùm điện tử để tối ưu các điều kiện phân tích và chụp ảnh với TESCAN In-Flight Beam Tracing™.
-
Điều hướng di chuyển mẫu dễ dàng và chính xác ở độ phóng đại tối thiểu 2 lần thông qua chế độ Wide Field Optics™ độc đáo của TESCAN, giúp loại bỏ vai trò của camera quang học.
-
Di chuyển các mẫu một cách tự tin và tránh va chạm bằng cách sử dụng Mô hình cảnh báo va chạm 3D độc đáo của TESCAN. Chức năng giúp mô hình hóa buồng mẫu, sự di chuyển các đầu dò, sàn mẫu và mẫu trong buồng mẫu.
-
Tùy chỉnh giao diện người dùng trên phần mềm Essence™ một cách linh hoạt tùy theo kinh nghiệm, theo cấp độ riêng của từng người dùng.
-
Tiết kiệm không gian lắp đặt. Tiết kiệm chi phí vận hành với bộ đệm chân không, giúp giảm đáng kể thời gian chạy của bơm chân không (lựa chọn thêm).
-
VEGA Compact là một SEM đáng để đầu tư hơn (nếu bạn đang dự định mua một MiniSEM, Tabletop SEM...)
VEGA Compact có nhiều tính năng mang lại giá trị tuyệt vời cho quy trình mô tả đặc tính của các mẫu thông thường. Những lợi thế trở nên rõ ràng hơn khi so sánh các tính năng chụp ảnh và phân tích của VEGA Compact với một MiniSEM để bàn. Dưới đây là 4 điểm năng lực khác biệt mà không một MiniSEM nào có đủ.
1. Buồng mẫu lớn. Sàn mẫu được điều khiển tự động 5 trục
VEGA Compact hiệu quả hơn vì đáp ứng nghiên cứu cỡ mẫu lớn hơn, hình dạng phức tạp có thể xoay/nghiêng dễ dàng. Buồng mẫu lớn hơn, có thể đặt được nhiều mẫu cùng lúc, nhiều mẫu chụp mặt cắt, nhiều mẫu phức tạp như mối hàn,... được phân tích cùng lúc mà không cần điều chỉnh mẫu/thay mẫu quá nhiều lần.
2. Độ phân giải cao, độ phóng đại lên tới 1,000,000x
VEGA Compact cung cấp độ phân giải chi tiết xuống vài nanomet, chất lượng hình ảnh cao, với độ phóng đại có thể gấp nhiều lần nhu cầu hiện tại - đây lại là "nhu cầu trong tương lai gần" - khi mà bạn cần độ phóng đại cao thì một mini SEM không thể làm được.
3. Điện áp gia tốc xuống tới 200V, cao đến 30kV
Để xem chi tiết hơn về mẫu, bạn cần một chùm điện tử năng lượng thấp; để phân tích EDS cho các nguyên tố nặng một cách chính xác, bạn cần thế gia tốc cỡ 30kV. VEGA Compact đáp ứng một dải rộng thế gia tốc, nghĩa là năng lực VEGA Compact có thể gấp đôi, gấp rưỡi so với các mini SEM.
4. Luôn có đủ 2 đầu dò tiêu chuẩn: SE và BSE
Để thu thập kết quả trung thực hơn về mẫu, bạn sẽ phải cần kết hợp cả tín hiệu từ đầu dò SE (bề mặt) và tín hiệu từ đầu dò BSE (thành phần khác nhau) tại một vùng mẫu quan sát. VEGA Compact luôn tích hợp sẵn có đồng thời 2 đầu dò này.
Hình ảnh ứng dụng của TESCAN VEGA Compact
